國內(nei)外(wai)的(de)潔凈(jing)工(gong)程的(de)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)都(dou)是隨著科學工(gong)程的(de)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)、工(gong)業產(chan)(chan)品(pin)的(de)日新月異，特(te)別(bie)是軍事工(gong)業、航(hang)天(tian)、電(dian)子和生物醫藥等工(gong)業的(de)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)而不斷發(fa)(fa)(fa)展(zhan)。現代工(gong)業產(chan)(chan)品(pin)生產(chan)(chan)和現代化科學實驗活動要求微型化、精密(mi)化、高純度、高質(zhi)量(liang)和高可靠性。微型化的(de)產(chan)(chan)品(pin)如電(dian)子計算機(ji)，從當初(chu)的(de)要在數(shu)間(jian)房間(jian)內(nei)配置數(shu)臺(tai)設備組合發(fa)(fa)(fa)展(zhan)到(dao)現在的(de)筆記(ji)本電(dian)腦，它所(suo)使用的(de)電(dian)子元(yuan)器件從電(dian)子管(guan)到(dao)半(ban)導體分離器件到(dao)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)再到(dao)超 大規模集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)，僅集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)的(de)線(xian)寬已從幾微米(mi)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)到(dao)現今(jin)的(de)0.1um左右。

　　1、以(yi)集成電(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)微型化為(wei)例，它對(dui)(dui)空氣中受(shou)控(kong)粒(li)子(zi)(zi)(zi)粒(li)徑從0.3~0.5um的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求發(fa)展到(dao)空氣中受(shou)控(kong)粒(li)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)粒(li)子(zi)(zi)(zi)尺寸要(yao)(yao)(yao)求控(kong)制在0.05um甚至更小，可見各類工(gong)(gong)業(ye)產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)的(de)(de)(de)(de)微型化正不(bu)斷(duan)對(dui)(dui)潔凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)提出更嚴格的(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求。高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)，如(ru)生(sheng)產(chan)(chan)集成電(dian)(dian)路(lu)(lu)所(suo)(suo)需(xu)單晶硅(gui)材(cai)料，生(sheng)產(chan)(chan)光(guang)纖(xian)所(suo)(suo)需(xu)四(si)敘化硅(gui)、四(si)氯(lv)化錯(cuo)材(cai)料等(deng)(deng)已由過(guo)去的(de)(de)(de)(de)所(suo)(suo)謂高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)進入“電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)純(chun)(chun)”“超(chao)(chao)純(chun)(chun)”，只有達到(dao)如(ru)此高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)度(du)才能達到(dao)現代(dai)集成電(dian)(dian)路(lu)(lu)、電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)元器件、光(guang)纖(xian)產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)所(suo)(suo)需(xu)的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)程(cheng)特性(xing)。要(yao)(yao)(yao)生(sheng)產(chan)(chan)如(ru)此高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)，就(jiu)必 須達到(dao)相應的(de)(de)(de)(de)受(shou)控(kong)生(sheng)產(chan)(chan)環境的(de)(de)(de)(de)空氣潔凈(jing)度(du)等(deng)(deng)級和具有相應高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)與產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)直接接觸(chu)的(de)(de)(de)(de)超(chao)(chao)純(chun)(chun)水、超(chao)(chao)純(chun)(chun)氣體、超(chao)(chao)純(chun)(chun)試(shi)劑(ji)等(deng)(deng)。對(dui)(dui)于(yu)(yu)現今以(yi)“微型電(dian)(dian)腦”為(wei)手段的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)信息時(shi)代(dai)，產(chan)(chan)品(pin)(pin)(pin)的(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)(gao)質量、高(gao)(gao)(gao)可靠性(xing)的(de)(de)(de)(de)重要(yao)(yao)(yao)意義(yi)(yi)是不(bu)言而(er)喻(yu)的(de)(de)(de)(de);對(dui)(dui)于(yu)(yu)確保人身安(an) 全的(de)(de)(de)(de)滅 菌操作(zuo)以(yi)及(ji)對(dui)(dui)于(yu)(yu)現代(dai)基因(yin)(yin)工(gong)(gong)程(cheng)和基因(yin)(yin)芯片(pian)的(de)(de)(de)(de)制作(zuo)也具有特 殊(shu)的(de)(de)(de)(de)意義(yi)(yi)。基于(yu)(yu)這種(zhong)趨(qu)勢，潔凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)的(de)(de)(de)(de)發(fa)展已成為(wei)現代(dai)工(gong)(gong)業(ye)生(sheng)產(chan)(chan)和科學(xue)實驗活動不(bu)可缺少的(de)(de)(de)(de)重要(yao)(yao)(yao)標(biao)志(zhi)之(zhi)一(yi)。
　　2、20世紀(ji)60年(nian)(nian)代的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程在美 國、歐(ou) 洲(zhou)等(deng)發(fa)(fa)達國 家順應(ying)各行各業產(chan)品(pin)生產(chan)和科學實驗(yan)活動的(de)(de)(de)(de)(de)需(xu)要(yao)得到了(le)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)，可以(yi)認為(wei)是潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程的(de)(de)(de)(de)(de)大(da)發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)時期。美 國在1961年(nian)(nian)誕生了(le)國 際(ji)上朂早的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)標準即美 國空軍工(gong)(gong)程條令203，并把編(bian)制聯(lian)邦(bang)(bang)政(zheng)府(fu)標準的(de)(de)(de)(de)(de)任務交給了(le)原子(zi)能委員會(hui)的(de)(de)(de)(de)(de)出版機構(gou);1963年(nian)(nian)底(di)頒布了(le)第 一個軍用(yong)部(bu)分的(de)(de)(de)(de)(de)聯(lian)邦(bang)(bang)標準即FS-209，從此聯(lian)邦(bang)(bang)標準"209"就成為(wei)國 際(ji)通(tong)行的(de)(de)(de)(de)(de)、著名的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)標準; 1966年(nian)(nian)頒布了(le)修訂后(hou)的(de)(de)(de)(de)(de)FS-209A，1957年(nian)(nian)前蘇聯(lian)第 一顆人(ren)造衛星上天后(hou)，美 國政(zheng)府(fu)加速發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)宇航事業、精(jing)密(mi)機械加工(gong)(gong)和電子(zi)工(gong)(gong)業，這(zhe)些都(dou)要(yao)求具有(you)受控空氣潔(jie)凈(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)生產(chan)環境，從而帶動潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程及(ji)其設備(bei)制造的(de)(de)(de)(de)(de)大(da)發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)，1961年(nian)(nian)單向流(liu)潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程和100級(ji)潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)建立(li)，更促 進了(le)潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程的(de)(de)(de)(de)(de)進一步發(fa)(fa)展(zhan)(zhan)。
　　3、我國(guo)(guo)的潔(jie)(jie)凈(jing)室工(gong)(gong)程(cheng)開始于(yu)20世紀(ji)(ji)60年代初(chu)，在70年代電(dian)子工(gong)(gong)業潔(jie)(jie)凈(jing)室特(te)別是半(ban)導(dao)體集(ji)成(cheng)電(dian)路用潔(jie)(jie)凈(jing)室的設(she)計、建(jian)造發展(zhan)很(hen)快(kuai)，相(xiang)繼(ji)建(jian)成(cheng)一批潔(jie)(jie)凈(jing)廠房(fang)，并(bing)研(yan)制成(cheng)功100級單向(xiang)流潔(jie)(jie)凈(jing)室;與此(ci)同時，潔(jie)(jie)凈(jing)廠房(fang)用設(she)備和(he)材(cai)料，如高 效過(guo)濾器，潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)作(zuo)臺、層流罩、潔(jie)(jie)凈(jing)烘箱、空氣吹淵室、凈(jing)化(hua)型傳(chuan)遞窗(chuang)等相(xiang)繼(ji)研(yan)制成(cheng)功，并(bing)投入生產，雖然制造質量和(he)某些工(gong)(gong)程(cheng)指標與國(guo)(guo) 際水平尚有差距，但已能滿(man)足國(guo)(guo)內部(bu)分需求。由高 效過(guo)濾器、凈(jing)化(hua)設(she)備和(he)圍護結構(墻板、頂(ding)棚。地面(mian))組裝而成(cheng)的裝配(pei)式(shi)潔(jie)(jie)凈(jing)室研(yan)制成(cheng)功。到20世紀(ji)(ji)70年代末我國(guo)(guo)潔(jie)(jie)凈(jing)室設(she)計、建(jian)造和(he)潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)的發展(zhan)走(zou)向(xiang)成(cheng)熟(shu)階(jie)段。
　　4、20世紀80年代(dai)大(da)(da)規(gui)模集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)和超 大(da)(da)規(gui)模集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)的(de)迅速發展(zhan)，大(da)(da)大(da)(da)促 進了潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)的(de)發展(zhan)，集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)生產(chan)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)從(cong)64K位到4M位，特(te)征尺寸(cun)從(cong)2.04m到0.84m。當時根(gen)(gen)據實踐經驗，通(tong)常空(kong)氣(qi)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)受控環境的(de)控制(zhi)塵粒粒徑與線寬的(de)關系為1:10，因此(ci)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)工(gong)(gong)作者研(yan)制(zhi)了高 效空(kong)氣(qi)過濾器，可將粒徑>0.1pm的(de)微粒去 除到規(gui)定范圍。根(gen)(gen)據大(da)(da)規(gui)模、大(da)(da)規(gui)模集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)生產(chan)的(de)需(xu)要，高純氣(qi)體、高純水和高純試劑的(de)生產(chan)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)也得到很快(kuai)的(de)發展(zhan)，從(cong)而使(shi)服(fu)務于集(ji)(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)等高工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)產(chan)品(pin)所需(xu)的(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)都得以高速發展(zhan)。