國內(nei)外(wai)的(de)(de)(de)潔凈(jing)工(gong)程的(de)(de)(de)發展(zhan)(zhan)都是隨著科(ke)學工(gong)程的(de)(de)(de)發展(zhan)(zhan)、工(gong)業產(chan)品的(de)(de)(de)日(ri)新(xin)月異，特別是軍事工(gong)業、航天、電(dian)(dian)(dian)子和(he)生物醫藥等工(gong)業的(de)(de)(de)發展(zhan)(zhan)而不斷發展(zhan)(zhan)。現(xian)(xian)代工(gong)業產(chan)品生產(chan)和(he)現(xian)(xian)代化科(ke)學實(shi)驗活動要(yao)求微型化、精密化、高純(chun)度(du)、高質量和(he)高可靠(kao)性。微型化的(de)(de)(de)產(chan)品如電(dian)(dian)(dian)子計(ji)算機，從(cong)當初的(de)(de)(de)要(yao)在數(shu)間房(fang)間內(nei)配置數(shu)臺設備組合發展(zhan)(zhan)到(dao)(dao)現(xian)(xian)在的(de)(de)(de)筆記本電(dian)(dian)(dian)腦，它所使用的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)子元器(qi)件(jian)從(cong)電(dian)(dian)(dian)子管到(dao)(dao)半導體分離器(qi)件(jian)到(dao)(dao)集成電(dian)(dian)(dian)路(lu)再到(dao)(dao)超 大規模集成電(dian)(dian)(dian)路(lu)，僅集成電(dian)(dian)(dian)路(lu)的(de)(de)(de)線寬已(yi)從(cong)幾(ji)微米發展(zhan)(zhan)到(dao)(dao)現(xian)(xian)今的(de)(de)(de)0.1um左(zuo)右。

　　1、以(yi)集成電(dian)路(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微型化(hua)(hua)為(wei)例，它(ta)對空氣(qi)(qi)中受控粒(li)(li)子粒(li)(li)徑(jing)從0.3~0.5um的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)發展到(dao)空氣(qi)(qi)中受控粒(li)(li)子的(de)(de)(de)(de)(de)(de)粒(li)(li)子尺寸要(yao)求(qiu)控制在0.05um甚至(zhi)更小，可(ke)(ke)見各類工(gong)業產(chan)(chan)(chan)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微型化(hua)(hua)正不(bu)斷對潔凈工(gong)程(cheng)提出更嚴格的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)。高(gao)純度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)(chan)品，如生(sheng)產(chan)(chan)(chan)集成電(dian)路(lu)所需單晶硅材(cai)料，生(sheng)產(chan)(chan)(chan)光纖(xian)所需四(si)敘化(hua)(hua)硅、四(si)氯(lv)化(hua)(hua)錯(cuo)材(cai)料等已(yi)由過去的(de)(de)(de)(de)(de)(de)所謂高(gao)純進入(ru)“電(dian)子純”“超純”，只有(you)達到(dao)如此高(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)才能達到(dao)現代集成電(dian)路(lu)、電(dian)子元(yuan)器(qi)件、光纖(xian)產(chan)(chan)(chan)品所需的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)程(cheng)特(te)(te)性(xing)。要(yao)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)如此高(gao)純度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)(chan)(chan)品，就必 須(xu)達到(dao)相(xiang)應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)受控生(sheng)產(chan)(chan)(chan)環(huan)境的(de)(de)(de)(de)(de)(de)空氣(qi)(qi)潔凈度(du)(du)等級和(he)具有(you)相(xiang)應高(gao)純度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)與產(chan)(chan)(chan)品直接(jie)接(jie)觸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)超純水、超純氣(qi)(qi)體(ti)、超純試(shi)劑(ji)等。對于(yu)現今以(yi)“微型電(dian)腦”為(wei)手段的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)子信息時代，產(chan)(chan)(chan)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)質量、高(gao)可(ke)(ke)靠性(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)意義是不(bu)言而喻(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de);對于(yu)確保人身安 全的(de)(de)(de)(de)(de)(de)滅 菌操作以(yi)及(ji)對于(yu)現代基(ji)(ji)因工(gong)程(cheng)和(he)基(ji)(ji)因芯片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)制作也(ye)具有(you)特(te)(te) 殊的(de)(de)(de)(de)(de)(de)意義。基(ji)(ji)于(yu)這(zhe)種趨勢(shi)，潔凈工(gong)程(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發展已(yi)成為(wei)現代工(gong)業生(sheng)產(chan)(chan)(chan)和(he)科學實驗活(huo)動(dong)不(bu)可(ke)(ke)缺少的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)標志之一。
　　2、20世(shi)紀(ji)60年代的(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)在(zai)美(mei) 國(guo)、歐 洲等發達國(guo) 家順(shun)應(ying)(ying)各(ge)行各(ge)業產品生產和科學實驗活動(dong)的(de)(de)需(xu)要(yao)(yao)得到了廣泛應(ying)(ying)用(yong)(yong)，可以(yi)認(ren)為是潔(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)大發展(zhan)時期(qi)。美(mei) 國(guo)在(zai)1961年誕生了國(guo) 際上朂早的(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)準即美(mei) 國(guo)空軍(jun)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)條令203，并把編制(zhi)聯(lian)邦政(zheng)府標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)準的(de)(de)任務交給了原子(zi)能委員會的(de)(de)出版(ban)機構;1963年底頒布(bu)了第 一(yi)個軍(jun)用(yong)(yong)部分的(de)(de)聯(lian)邦標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)準即FS-209，從此聯(lian)邦標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)準"209"就成為國(guo) 際通行的(de)(de)、著名的(de)(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)準; 1966年頒布(bu)了修訂(ding)后的(de)(de)FS-209A，1957年前蘇聯(lian)第 一(yi)顆人造衛星上天后，美(mei) 國(guo)政(zheng)府加速發展(zhan)宇(yu)航事業、精密(mi)機械加工(gong)和電子(zi)工(gong)業，這些都要(yao)(yao)求具有受(shou)控空氣潔(jie)凈(jing)(jing)的(de)(de)生產環(huan)境，從而帶動(dong)潔(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)及其(qi)設備制(zhi)造的(de)(de)大發展(zhan)，1961年單向流(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)和100級潔(jie)凈(jing)(jing)室的(de)(de)建立，更促 進(jin)了潔(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)進(jin)一(yi)步發展(zhan)。
　　3、我國的(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室工程(cheng)(cheng)開(kai)始(shi)于20世(shi)紀60年代初(chu)，在70年代電子工業(ye)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室特別是(shi)半(ban)導體(ti)集成電路用潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室的(de)設(she)計(ji)、建(jian)造發(fa)展(zhan)很快(kuai)，相繼建(jian)成一(yi)批潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠(chang)房(fang)，并研(yan)(yan)制(zhi)成功(gong)(gong)100級單向流潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室;與此(ci)同時，潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠(chang)房(fang)用設(she)備和(he)材料，如高(gao) 效(xiao)過濾器(qi)，潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)工作臺(tai)、層流罩、潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)烘箱、空(kong)氣(qi)吹淵(yuan)室、凈(jing)(jing)化型傳(chuan)遞窗等相繼研(yan)(yan)制(zhi)成功(gong)(gong)，并投入生產，雖然制(zhi)造質量和(he)某(mou)些(xie)工程(cheng)(cheng)指標與國 際水平(ping)尚有差距，但已能(neng)滿足國內部分(fen)需求。由高(gao) 效(xiao)過濾器(qi)、凈(jing)(jing)化設(she)備和(he)圍護(hu)結構(gou)(墻板(ban)、頂棚。地面)組裝(zhuang)而成的(de)裝(zhuang)配式潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室研(yan)(yan)制(zhi)成功(gong)(gong)。到20世(shi)紀70年代末我國潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室設(she)計(ji)、建(jian)造和(he)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)工程(cheng)(cheng)的(de)發(fa)展(zhan)走向成熟階段。
　　4、20世紀80年代(dai)大(da)(da)規模(mo)集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)和(he)(he)超 大(da)(da)規模(mo)集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)的(de)(de)(de)迅速(su)發展(zhan)，大(da)(da)大(da)(da)促 進了(le)潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)程的(de)(de)(de)發展(zhan)，集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)生產工(gong)(gong)(gong)程從(cong)(cong)64K位到(dao)4M位，特征尺寸從(cong)(cong)2.04m到(dao)0.84m。當時根(gen)據實踐經驗，通常空氣(qi)潔(jie)凈(jing)受控(kong)環境的(de)(de)(de)控(kong)制(zhi)塵粒(li)(li)(li)粒(li)(li)(li)徑與(yu)線寬的(de)(de)(de)關系為1:10，因此潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)程工(gong)(gong)(gong)作者研制(zhi)了(le)高 效(xiao)空氣(qi)過濾器，可將粒(li)(li)(li)徑>0.1pm的(de)(de)(de)微粒(li)(li)(li)去(qu) 除到(dao)規定范(fan)圍。根(gen)據大(da)(da)規模(mo)、大(da)(da)規模(mo)集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)生產的(de)(de)(de)需(xu)要(yao)，高純氣(qi)體、高純水和(he)(he)高純試劑(ji)的(de)(de)(de)生產工(gong)(gong)(gong)程也(ye)得到(dao)很快的(de)(de)(de)發展(zhan)，從(cong)(cong)而使服務(wu)于集(ji)成電(dian)(dian)路(lu)等高工(gong)(gong)(gong)程產品所需(xu)的(de)(de)(de)潔(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)程都得以高速(su)發展(zhan)。