國(guo)內外的(de)(de)潔(jie)凈工(gong)(gong)程的(de)(de)發展都是隨著科學(xue)工(gong)(gong)程的(de)(de)發展、工(gong)(gong)業(ye)(ye)產(chan)品(pin)的(de)(de)日(ri)新月異，特別是軍事工(gong)(gong)業(ye)(ye)、航天、電(dian)(dian)子(zi)和(he)生物醫藥等(deng)工(gong)(gong)業(ye)(ye)的(de)(de)發展而不斷發展。現代(dai)工(gong)(gong)業(ye)(ye)產(chan)品(pin)生產(chan)和(he)現代(dai)化(hua)科學(xue)實驗(yan)活動要求微型化(hua)、精密化(hua)、高純度、高質量(liang)和(he)高可靠性(xing)。微型化(hua)的(de)(de)產(chan)品(pin)如(ru)電(dian)(dian)子(zi)計(ji)算機，從(cong)當初的(de)(de)要在數間(jian)房間(jian)內配置數臺設備組合發展到(dao)(dao)現在的(de)(de)筆(bi)記本電(dian)(dian)腦，它(ta)所使用的(de)(de)電(dian)(dian)子(zi)元器件從(cong)電(dian)(dian)子(zi)管到(dao)(dao)半導體(ti)分(fen)離器件到(dao)(dao)集(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)再到(dao)(dao)超 大(da)規模集(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)，僅(jin)集(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)(de)線寬已從(cong)幾微米發展到(dao)(dao)現今的(de)(de)0.1um左(zuo)右。

　　1、以(yi)集(ji)成(cheng)電(dian)路的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)型(xing)化(hua)為(wei)例，它(ta)對(dui)(dui)(dui)空(kong)氣中(zhong)受(shou)控(kong)粒子粒徑從0.3~0.5um的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)發(fa)(fa)展到(dao)空(kong)氣中(zhong)受(shou)控(kong)粒子的(de)(de)(de)(de)(de)(de)粒子尺寸要(yao)(yao)(yao)求(qiu)控(kong)制在0.05um甚至更小(xiao)，可(ke)(ke)見(jian)各類(lei)工(gong)業(ye)產(chan)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)(wei)型(xing)化(hua)正不斷對(dui)(dui)(dui)潔凈(jing)(jing)工(gong)程提出更嚴格(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)。高(gao)(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)品，如(ru)(ru)生(sheng)(sheng)產(chan)集(ji)成(cheng)電(dian)路所(suo)需單晶硅材料，生(sheng)(sheng)產(chan)光纖所(suo)需四(si)(si)敘化(hua)硅、四(si)(si)氯化(hua)錯材料等(deng)已(yi)由過去的(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)謂高(gao)(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)進入“電(dian)子純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)”“超純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)”，只有達(da)到(dao)如(ru)(ru)此高(gao)(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)才(cai)能(neng)達(da)到(dao)現(xian)(xian)(xian)代集(ji)成(cheng)電(dian)路、電(dian)子元器件(jian)、光纖產(chan)品所(suo)需的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)程特性(xing)。要(yao)(yao)(yao)生(sheng)(sheng)產(chan)如(ru)(ru)此高(gao)(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)品，就必 須(xu)達(da)到(dao)相應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)受(shou)控(kong)生(sheng)(sheng)產(chan)環境的(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)氣潔凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級和具(ju)有相應高(gao)(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)與產(chan)品直接接觸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)超純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)水、超純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)氣體、超純(chun)(chun)(chun)(chun)(chun)試(shi)劑等(deng)。對(dui)(dui)(dui)于(yu)現(xian)(xian)(xian)今以(yi)“微(wei)(wei)型(xing)電(dian)腦”為(wei)手(shou)段的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)子信息時代，產(chan)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)(gao)(gao)質量、高(gao)(gao)(gao)(gao)可(ke)(ke)靠性(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要(yao)(yao)(yao)意(yi)義是不言而喻的(de)(de)(de)(de)(de)(de);對(dui)(dui)(dui)于(yu)確保(bao)人身安 全的(de)(de)(de)(de)(de)(de)滅 菌操(cao)作(zuo)以(yi)及對(dui)(dui)(dui)于(yu)現(xian)(xian)(xian)代基(ji)(ji)因工(gong)程和基(ji)(ji)因芯(xin)片的(de)(de)(de)(de)(de)(de)制作(zuo)也(ye)具(ju)有特 殊的(de)(de)(de)(de)(de)(de)意(yi)義。基(ji)(ji)于(yu)這種趨勢，潔凈(jing)(jing)工(gong)程的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)(fa)展已(yi)成(cheng)為(wei)現(xian)(xian)(xian)代工(gong)業(ye)生(sheng)(sheng)產(chan)和科學(xue)實驗(yan)活動(dong)不可(ke)(ke)缺少的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要(yao)(yao)(yao)標志之(zhi)一。
　　2、20世(shi)紀60年代的(de)潔凈工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)在美 國(guo)、歐 洲等(deng)發(fa)(fa)(fa)達國(guo) 家順應(ying)各(ge)行(xing)各(ge)業(ye)產(chan)品生產(chan)和科學實驗(yan)活動的(de)需要(yao)得到(dao)了(le)(le)廣泛應(ying)用，可以認為(wei)是潔凈工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)的(de)大(da)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)時期。美 國(guo)在1961年誕生了(le)(le)國(guo) 際上朂早(zao)的(de)潔凈室(shi)標(biao)準即美 國(guo)空軍工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)條令203，并把(ba)編制(zhi)聯(lian)邦(bang)政府標(biao)準的(de)任務交給了(le)(le)原子(zi)能委員會的(de)出版機構;1963年底頒布了(le)(le)第(di) 一(yi)個軍用部分的(de)聯(lian)邦(bang)標(biao)準即FS-209，從此(ci)聯(lian)邦(bang)標(biao)準"209"就成為(wei)國(guo) 際通行(xing)的(de)、著名的(de)潔凈室(shi)標(biao)準; 1966年頒布了(le)(le)修(xiu)訂后的(de)FS-209A，1957年前(qian)蘇聯(lian)第(di) 一(yi)顆人造衛星上天后，美 國(guo)政府加速發(fa)(fa)(fa)展(zhan)宇航事業(ye)、精密機械(xie)加工(gong)(gong)(gong)和電子(zi)工(gong)(gong)(gong)業(ye)，這些都(dou)要(yao)求具有(you)受控空氣潔凈的(de)生產(chan)環境，從而(er)帶動潔凈工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)及(ji)其設備(bei)制(zhi)造的(de)大(da)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)，1961年單向流潔凈工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)和100級(ji)潔凈室(shi)的(de)建立，更促 進(jin)了(le)(le)潔凈工(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)的(de)進(jin)一(yi)步(bu)發(fa)(fa)(fa)展(zhan)。
　　3、我國(guo)的(de)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)工程開始于20世紀60年(nian)代初，在70年(nian)代電(dian)子(zi)工業潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)特別是半(ban)導體集成(cheng)電(dian)路用潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)設計(ji)、建(jian)造(zao)發展很快，相(xiang)繼(ji)建(jian)成(cheng)一批潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠房(fang)，并研制成(cheng)功100級單向流潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi);與此(ci)同時，潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠房(fang)用設備(bei)和(he)材料，如高 效(xiao)過濾(lv)器(qi)，潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)工作臺、層流罩(zhao)、潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)烘(hong)箱、空(kong)氣吹淵室(shi)、凈(jing)(jing)化(hua)型傳遞窗(chuang)等相(xiang)繼(ji)研制成(cheng)功，并投入生產，雖然制造(zao)質量和(he)某些(xie)工程指標與國(guo) 際水平尚有差距，但已能滿足國(guo)內(nei)部分需求。由高 效(xiao)過濾(lv)器(qi)、凈(jing)(jing)化(hua)設備(bei)和(he)圍護結構(墻板、頂棚。地面)組裝而成(cheng)的(de)裝配式潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)研制成(cheng)功。到20世紀70年(nian)代末我國(guo)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)設計(ji)、建(jian)造(zao)和(he)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)工程的(de)發展走向成(cheng)熟階段。
　　4、20世紀80年代大(da)規模集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)和超 大(da)規模集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)(de)迅(xun)速發(fa)展，大(da)大(da)促 進了潔凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)的(de)(de)發(fa)展，集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)生產工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)從(cong)64K位到(dao)4M位，特征尺寸從(cong)2.04m到(dao)0.84m。當時(shi)根(gen)據(ju)(ju)實踐經(jing)驗，通常空氣(qi)(qi)潔凈(jing)受(shou)控(kong)環境的(de)(de)控(kong)制塵(chen)粒粒徑與線(xian)寬的(de)(de)關系為1:10，因此潔凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)工(gong)(gong)作者研(yan)制了高(gao)(gao) 效空氣(qi)(qi)過濾(lv)器，可將粒徑>0.1pm的(de)(de)微粒去 除(chu)到(dao)規定范(fan)圍。根(gen)據(ju)(ju)大(da)規模、大(da)規模集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)生產的(de)(de)需要，高(gao)(gao)純(chun)氣(qi)(qi)體、高(gao)(gao)純(chun)水和高(gao)(gao)純(chun)試劑的(de)(de)生產工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)也得到(dao)很(hen)快的(de)(de)發(fa)展，從(cong)而使服務于集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)(lu)等(deng)高(gao)(gao)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)產品所需的(de)(de)潔凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)都得以(yi)高(gao)(gao)速發(fa)展。