國內外(wai)的(de)潔凈工程的(de)發展(zhan)都是(shi)隨著科(ke)學工程的(de)發展(zhan)、工業產品(pin)(pin)的(de)日新月異(yi)，特(te)別是(shi)軍(jun)事工業、航(hang)天、電(dian)(dian)(dian)子和生(sheng)(sheng)物醫藥等(deng)工業的(de)發展(zhan)而不斷發展(zhan)。現代(dai)工業產品(pin)(pin)生(sheng)(sheng)產和現代(dai)化(hua)科(ke)學實驗活動要(yao)求(qiu)微(wei)型化(hua)、精密化(hua)、高(gao)純(chun)度、高(gao)質量(liang)和高(gao)可靠性。微(wei)型化(hua)的(de)產品(pin)(pin)如電(dian)(dian)(dian)子計算(suan)機，從(cong)當初(chu)的(de)要(yao)在數間房(fang)間內配(pei)置數臺設備組(zu)合(he)發展(zhan)到現在的(de)筆(bi)記(ji)本(ben)電(dian)(dian)(dian)腦，它所使用的(de)電(dian)(dian)(dian)子元器件(jian)從(cong)電(dian)(dian)(dian)子管(guan)到半導體分離器件(jian)到集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)路再到超 大規模(mo)集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)路，僅集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)路的(de)線寬已(yi)從(cong)幾(ji)微(wei)米(mi)發展(zhan)到現今的(de)0.1um左右。

　　1、以(yi)(yi)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)電路的(de)(de)(de)微(wei)型化(hua)為例，它(ta)對(dui)(dui)(dui)空氣中受(shou)控粒(li)子(zi)粒(li)徑從0.3~0.5um的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求發展到(dao)空氣中受(shou)控粒(li)子(zi)的(de)(de)(de)粒(li)子(zi)尺寸要(yao)(yao)求控制在(zai)0.05um甚至更小，可見(jian)各類工(gong)業產(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)微(wei)型化(hua)正不斷(duan)對(dui)(dui)(dui)潔(jie)凈(jing)工(gong)程(cheng)提(ti)出更嚴(yan)格的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求。高純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)(pin)，如生(sheng)產(chan)集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)電路所(suo)需單晶(jing)硅(gui)材(cai)料(liao)(liao)，生(sheng)產(chan)光纖所(suo)需四(si)敘化(hua)硅(gui)、四(si)氯化(hua)錯(cuo)材(cai)料(liao)(liao)等已由過去的(de)(de)(de)所(suo)謂高純(chun)(chun)進入(ru)“電子(zi)純(chun)(chun)”“超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)”，只(zhi)有(you)達(da)到(dao)如此(ci)高的(de)(de)(de)純(chun)(chun)度(du)才能達(da)到(dao)現(xian)(xian)代集(ji)成(cheng)(cheng)(cheng)電路、電子(zi)元器件(jian)、光纖產(chan)品(pin)(pin)所(suo)需的(de)(de)(de)工(gong)程(cheng)特性。要(yao)(yao)生(sheng)產(chan)如此(ci)高純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)(pin)，就必 須達(da)到(dao)相應(ying)(ying)的(de)(de)(de)受(shou)控生(sheng)產(chan)環(huan)境的(de)(de)(de)空氣潔(jie)凈(jing)度(du)等級和具有(you)相應(ying)(ying)高純(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)與產(chan)品(pin)(pin)直接接觸的(de)(de)(de)超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)水、超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)氣體、超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)試(shi)劑等。對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)現(xian)(xian)今以(yi)(yi)“微(wei)型電腦”為手段的(de)(de)(de)電子(zi)信息時代，產(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)(de)高質量、高可靠性的(de)(de)(de)重要(yao)(yao)意義是不言而喻的(de)(de)(de);對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)確(que)保人身安 全的(de)(de)(de)滅 菌操作以(yi)(yi)及對(dui)(dui)(dui)于(yu)(yu)現(xian)(xian)代基(ji)因工(gong)程(cheng)和基(ji)因芯片的(de)(de)(de)制作也(ye)具有(you)特 殊的(de)(de)(de)意義。基(ji)于(yu)(yu)這種趨勢(shi)，潔(jie)凈(jing)工(gong)程(cheng)的(de)(de)(de)發展已成(cheng)(cheng)(cheng)為現(xian)(xian)代工(gong)業生(sheng)產(chan)和科學實(shi)驗活(huo)動不可缺(que)少(shao)的(de)(de)(de)重要(yao)(yao)標志之一。
　　2、20世紀(ji)60年代(dai)的(de)(de)(de)潔凈(jing)工(gong)(gong)程在美 國、歐 洲(zhou)等發達國 家順應(ying)各行各業產品生(sheng)產和(he)(he)科學實(shi)驗活動的(de)(de)(de)需(xu)要(yao)得到了(le)(le)廣泛應(ying)用，可以認為是潔凈(jing)工(gong)(gong)程的(de)(de)(de)大發展時期。美 國在1961年誕生(sheng)了(le)(le)國 際(ji)上朂早的(de)(de)(de)潔凈(jing)室標準(zhun)(zhun)即美 國空(kong)軍(jun)工(gong)(gong)程條令203，并(bing)把編制聯(lian)邦政(zheng)府標準(zhun)(zhun)的(de)(de)(de)任務交給(gei)了(le)(le)原子能委員會的(de)(de)(de)出(chu)版機(ji)構;1963年底(di)頒布(bu)(bu)了(le)(le)第 一(yi)個(ge)軍(jun)用部(bu)分的(de)(de)(de)聯(lian)邦標準(zhun)(zhun)即FS-209，從(cong)此聯(lian)邦標準(zhun)(zhun)"209"就成為國 際(ji)通行的(de)(de)(de)、著名(ming)的(de)(de)(de)潔凈(jing)室標準(zhun)(zhun); 1966年頒布(bu)(bu)了(le)(le)修(xiu)訂(ding)后的(de)(de)(de)FS-209A，1957年前蘇聯(lian)第 一(yi)顆人造衛星上天(tian)后，美 國政(zheng)府加速發展宇航事業、精密機(ji)械(xie)加工(gong)(gong)和(he)(he)電子工(gong)(gong)業，這(zhe)些都要(yao)求具有受控空(kong)氣潔凈(jing)的(de)(de)(de)生(sheng)產環(huan)境，從(cong)而帶動潔凈(jing)工(gong)(gong)程及其(qi)設備制造的(de)(de)(de)大發展，1961年單向流潔凈(jing)工(gong)(gong)程和(he)(he)100級潔凈(jing)室的(de)(de)(de)建立(li)，更促(cu) 進了(le)(le)潔凈(jing)工(gong)(gong)程的(de)(de)(de)進一(yi)步發展。
　　3、我國(guo)的(de)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)工(gong)程開(kai)始于20世紀60年代初，在70年代電(dian)子工(gong)業潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)特(te)別是半導體集成電(dian)路用潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)設計、建造發(fa)展(zhan)很快，相(xiang)繼建成一(yi)批潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠房，并研制成功100級(ji)單向流潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi);與此同(tong)時，潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)廠房用設備(bei)和(he)(he)材料(liao)，如高 效過濾(lv)器，潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工(gong)作臺、層流罩、潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)烘(hong)箱、空氣吹淵室(shi)、凈(jing)(jing)化型傳遞窗等相(xiang)繼研制成功，并投入生產，雖然制造質量和(he)(he)某些(xie)工(gong)程指標與國(guo) 際水平尚有(you)差距，但(dan)已(yi)能(neng)滿足(zu)國(guo)內部分需求。由(you)高 效過濾(lv)器、凈(jing)(jing)化設備(bei)和(he)(he)圍護結(jie)構(墻(qiang)板、頂棚。地面)組裝而成的(de)裝配(pei)式潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)研制成功。到(dao)20世紀70年代末(mo)我國(guo)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)室(shi)設計、建造和(he)(he)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)工(gong)程的(de)發(fa)展(zhan)走向成熟階段。
　　4、20世紀80年(nian)代大規模(mo)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)和超 大規模(mo)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)(de)迅速(su)發(fa)(fa)展，大大促 進(jin)了(le)潔(jie)凈工(gong)程(cheng)的(de)(de)發(fa)(fa)展，集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)生產工(gong)程(cheng)從(cong)(cong)64K位到4M位，特征尺寸從(cong)(cong)2.04m到0.84m。當(dang)時根(gen)據實踐經驗，通常空氣潔(jie)凈受(shou)控(kong)環境的(de)(de)控(kong)制塵粒(li)粒(li)徑與線寬(kuan)的(de)(de)關系(xi)為1:10，因此(ci)潔(jie)凈工(gong)程(cheng)工(gong)作者研制了(le)高(gao)(gao) 效空氣過濾(lv)器(qi)，可將粒(li)徑>0.1pm的(de)(de)微(wei)粒(li)去(qu) 除到規定范圍。根(gen)據大規模(mo)、大規模(mo)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)生產的(de)(de)需(xu)(xu)要，高(gao)(gao)純(chun)氣體、高(gao)(gao)純(chun)水和高(gao)(gao)純(chun)試(shi)劑(ji)的(de)(de)生產工(gong)程(cheng)也得(de)到很快的(de)(de)發(fa)(fa)展，從(cong)(cong)而使服(fu)務于集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)等高(gao)(gao)工(gong)程(cheng)產品所(suo)需(xu)(xu)的(de)(de)潔(jie)凈工(gong)程(cheng)都得(de)以(yi)高(gao)(gao)速(su)發(fa)(fa)展。