國(guo)內外(wai)的(de)(de)潔凈工(gong)程的(de)(de)發(fa)(fa)展都是隨著科(ke)學工(gong)程的(de)(de)發(fa)(fa)展、工(gong)業產品(pin)的(de)(de)日新月異，特別是軍事(shi)工(gong)業、航天、電(dian)(dian)(dian)(dian)子和生(sheng)物醫藥等工(gong)業的(de)(de)發(fa)(fa)展而不(bu)斷發(fa)(fa)展。現(xian)(xian)(xian)代工(gong)業產品(pin)生(sheng)產和現(xian)(xian)(xian)代化科(ke)學實驗活(huo)動(dong)要求微型化、精(jing)密化、高純(chun)度、高質量和高可靠性(xing)。微型化的(de)(de)產品(pin)如電(dian)(dian)(dian)(dian)子計算機，從當初的(de)(de)要在數(shu)間(jian)房間(jian)內配置(zhi)數(shu)臺設備組合發(fa)(fa)展到現(xian)(xian)(xian)在的(de)(de)筆記(ji)本電(dian)(dian)(dian)(dian)腦，它(ta)所使用(yong)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)子元器件從電(dian)(dian)(dian)(dian)子管(guan)到半(ban)導體分離器件到集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)再到超 大(da)規模集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)，僅集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)的(de)(de)線寬已從幾微米發(fa)(fa)展到現(xian)(xian)(xian)今的(de)(de)0.1um左右。

　　1、以(yi)(yi)(yi)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)(de)(de)微(wei)型(xing)化(hua)(hua)為(wei)例，它對(dui)空(kong)氣中受(shou)控粒(li)子(zi)粒(li)徑從0.3~0.5um的(de)(de)(de)要(yao)求發展到(dao)空(kong)氣中受(shou)控粒(li)子(zi)的(de)(de)(de)粒(li)子(zi)尺寸要(yao)求控制在0.05um甚至更小，可(ke)見各(ge)類工業產品(pin)的(de)(de)(de)微(wei)型(xing)化(hua)(hua)正不(bu)(bu)斷(duan)對(dui)潔(jie)凈工程(cheng)(cheng)提出更嚴格的(de)(de)(de)要(yao)求。高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)產品(pin)，如生(sheng)(sheng)(sheng)產集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)所(suo)需單晶硅(gui)材料，生(sheng)(sheng)(sheng)產光纖所(suo)需四敘化(hua)(hua)硅(gui)、四氯(lv)化(hua)(hua)錯材料等已由過去的(de)(de)(de)所(suo)謂高(gao)純(chun)(chun)(chun)進入“電(dian)子(zi)純(chun)(chun)(chun)”“超純(chun)(chun)(chun)”，只有達(da)到(dao)如此(ci)高(gao)的(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)才(cai)能達(da)到(dao)現(xian)(xian)代(dai)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)、電(dian)子(zi)元器件、光纖產品(pin)所(suo)需的(de)(de)(de)工程(cheng)(cheng)特(te)性。要(yao)生(sheng)(sheng)(sheng)產如此(ci)高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)產品(pin)，就必 須達(da)到(dao)相應的(de)(de)(de)受(shou)控生(sheng)(sheng)(sheng)產環境的(de)(de)(de)空(kong)氣潔(jie)凈度(du)等級和(he)(he)具有相應高(gao)純(chun)(chun)(chun)度(du)的(de)(de)(de)與產品(pin)直接(jie)接(jie)觸的(de)(de)(de)超純(chun)(chun)(chun)水、超純(chun)(chun)(chun)氣體、超純(chun)(chun)(chun)試劑等。對(dui)于現(xian)(xian)今(jin)以(yi)(yi)(yi)“微(wei)型(xing)電(dian)腦(nao)”為(wei)手段的(de)(de)(de)電(dian)子(zi)信息時代(dai)，產品(pin)的(de)(de)(de)高(gao)質量、高(gao)可(ke)靠性的(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)意義是不(bu)(bu)言(yan)而喻的(de)(de)(de);對(dui)于確(que)保人(ren)身安 全的(de)(de)(de)滅 菌操作(zuo)以(yi)(yi)(yi)及對(dui)于現(xian)(xian)代(dai)基因(yin)工程(cheng)(cheng)和(he)(he)基因(yin)芯片的(de)(de)(de)制作(zuo)也具有特(te) 殊的(de)(de)(de)意義。基于這(zhe)種趨勢，潔(jie)凈工程(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)發展已成(cheng)為(wei)現(xian)(xian)代(dai)工業生(sheng)(sheng)(sheng)產和(he)(he)科學實驗活動不(bu)(bu)可(ke)缺少(shao)的(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)標志之一。
　　2、20世紀60年(nian)代的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)在(zai)美(mei)(mei) 國(guo)、歐 洲等發達國(guo) 家順應各行(xing)各業(ye)產(chan)品(pin)生產(chan)和科學(xue)實驗活動的(de)(de)(de)(de)(de)需要得到了(le)(le)廣(guang)泛(fan)應用，可以(yi)認為是潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)大發展(zhan)時期。美(mei)(mei) 國(guo)在(zai)1961年(nian)誕生了(le)(le)國(guo) 際(ji)上(shang)朂早的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)標準即美(mei)(mei) 國(guo)空軍(jun)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)條令203，并把編(bian)制聯邦政府標準的(de)(de)(de)(de)(de)任(ren)務(wu)交(jiao)給了(le)(le)原子能委(wei)員會的(de)(de)(de)(de)(de)出版機構;1963年(nian)底(di)頒(ban)布(bu)了(le)(le)第 一(yi)個(ge)軍(jun)用部分的(de)(de)(de)(de)(de)聯邦標準即FS-209，從(cong)此聯邦標準"209"就成為國(guo) 際(ji)通行(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)、著名的(de)(de)(de)(de)(de)潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)標準; 1966年(nian)頒(ban)布(bu)了(le)(le)修訂(ding)后的(de)(de)(de)(de)(de)FS-209A，1957年(nian)前蘇聯第 一(yi)顆人造衛星上(shang)天(tian)后，美(mei)(mei) 國(guo)政府加速發展(zhan)宇航事業(ye)、精密機械加工(gong)(gong)和電子工(gong)(gong)業(ye)，這些(xie)都(dou)要求具有受控空氣潔(jie)(jie)凈(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)生產(chan)環境(jing)，從(cong)而帶動潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)及其設(she)備制造的(de)(de)(de)(de)(de)大發展(zhan)，1961年(nian)單(dan)向流潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)和100級潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)建(jian)立，更促 進了(le)(le)潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)進一(yi)步發展(zhan)。
　　3、我(wo)(wo)國(guo)的潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室工程開始于(yu)20世(shi)紀60年代初，在70年代電子工業潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室特別(bie)是(shi)半導體集(ji)成(cheng)(cheng)電路用(yong)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室的設(she)(she)計、建造發展(zhan)很快，相(xiang)繼建成(cheng)(cheng)一批潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)廠房，并研制(zhi)成(cheng)(cheng)功(gong)100級單向流(liu)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室;與此同時(shi)，潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)廠房用(yong)設(she)(she)備和(he)材料(liao)，如(ru)高 效過(guo)濾器，潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)工作臺、層流(liu)罩、潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)烘箱、空氣(qi)吹淵室、凈(jing)(jing)(jing)化型傳遞窗(chuang)等相(xiang)繼研制(zhi)成(cheng)(cheng)功(gong)，并投入生產，雖然制(zhi)造質量和(he)某(mou)些工程指標(biao)與國(guo) 際水平(ping)尚有差距，但(dan)已能滿足(zu)國(guo)內部分需(xu)求。由高 效過(guo)濾器、凈(jing)(jing)(jing)化設(she)(she)備和(he)圍護結構(墻板、頂(ding)棚(peng)。地面)組裝(zhuang)而(er)成(cheng)(cheng)的裝(zhuang)配(pei)式潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室研制(zhi)成(cheng)(cheng)功(gong)。到20世(shi)紀70年代末我(wo)(wo)國(guo)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室設(she)(she)計、建造和(he)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)工程的發展(zhan)走(zou)向成(cheng)(cheng)熟(shu)階段(duan)。
　　4、20世(shi)紀80年代大(da)(da)(da)規(gui)模(mo)集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路和(he)超(chao) 大(da)(da)(da)規(gui)模(mo)集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路的(de)(de)(de)(de)迅速發展(zhan)，大(da)(da)(da)大(da)(da)(da)促 進了(le)潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)，集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路生(sheng)(sheng)產(chan)工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)從(cong)64K位(wei)到4M位(wei)，特(te)征尺寸從(cong)2.04m到0.84m。當時根據(ju)實踐經驗，通常(chang)空氣(qi)(qi)潔(jie)(jie)凈(jing)受控環(huan)境的(de)(de)(de)(de)控制塵粒(li)粒(li)徑(jing)與線(xian)寬(kuan)的(de)(de)(de)(de)關系(xi)為(wei)1:10，因(yin)此潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)工(gong)(gong)(gong)(gong)作者(zhe)研制了(le)高 效空氣(qi)(qi)過濾器，可將粒(li)徑(jing)>0.1pm的(de)(de)(de)(de)微粒(li)去 除到規(gui)定范圍(wei)。根據(ju)大(da)(da)(da)規(gui)模(mo)、大(da)(da)(da)規(gui)模(mo)集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)(de)需(xu)要，高純氣(qi)(qi)體、高純水和(he)高純試劑的(de)(de)(de)(de)生(sheng)(sheng)產(chan)工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)也得(de)到很快的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)，從(cong)而使服(fu)務于集成(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路等高工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)產(chan)品所需(xu)的(de)(de)(de)(de)潔(jie)(jie)凈(jing)工(gong)(gong)(gong)(gong)程(cheng)(cheng)都得(de)以高速發展(zhan)。